三氯氢硅中的总碳(以C计)含量，是三氯氢硅质量标准的一项重要指标。

                                                                                        测量原理

                                                                                        采用气相色谱-质谱联用仪(GC-MS)检测,理化特征各不相同的物质通过

                                                                                        毛细管色谱柱进行分离色谱分离出来的化合物在流出色谱柱时用质谱

                                                                                        仪进行记录。用化合物的保留时间和质谱碎片的丰度比定性,选用1,2-二

                                                                                        氯乙烷作内标,内标法定量。

气相色谱-质谱联用仪