三氯氢硅的下游应用，除了对主成分含量有严格的要求，对硼、磷及金属杂质的含量也有相应的技术标准。

                                                            三氯氢硅中硼、磷及金属杂质的测量，主要采用电感耦合等离子体质谱仪进行测定（ICP-MS）

                                                            其工作原理是：乙腈能与一些金属氯化物生成稳定的络合物,在三氯氢硅中加入乙腈,在常温下,用氮气载带挥

                                                            发分离基体,残留的二氧化硅用氢氟酸溶解转化为SE,除去,再用硝酸溶液溶解残渣,溶液用电感耦合等离子体质

                                                            谱仪测定。